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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06280060(A) 申请公布日期 1994.10.04
申请号 JP19930066994 申请日期 1993.03.25
申请人 CANON INC 发明人 YAMAMOTO TOMOKO;YAGI TAKAYUKI
分类号 C03C15/00;C23F4/00;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
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