| 发明名称 |
DETECTION OF CONTACT OF SILICON SINGLE CRYSTAL AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06279171(A) |
申请公布日期 |
1994.10.04 |
| 申请号 |
JP19920026478 |
申请日期 |
1992.02.13 |
| 申请人 |
SUMITOMO SITIX CORP |
发明人 |
TAKIUCHI KAORU;TSUJINO AKIRA |
| 分类号 |
C30B15/20;C30B15/30;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/20 |
主分类号 |
C30B15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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