发明名称 PRODUCTION OF SEMI-INSULATING GALLIUM ARSENIDE SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH06279198(A) 申请公布日期 1994.10.04
申请号 JP19930089274 申请日期 1993.03.24
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 ISHIHARA TOMOYUKI;SATO MAKOTO;MURATA KOICHI
分类号 C30B11/00;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/42 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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