发明名称 PRODUCTION OF CARBON COATING FILM
摘要
申请公布号 JPH06280012(A) 申请公布日期 1994.10.04
申请号 JP19930091927 申请日期 1993.03.29
申请人 CANON INC 发明人 TANIGUCHI YASUSHI
分类号 C03B11/00;C03B11/08;C03B40/00;C23C14/48;(IPC1-7):C23C14/48 主分类号 C03B11/00
代理机构 代理人
主权项
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