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UN PERFECCIONAMIENTO EN LA LISURA DE RODAJAS DELGADAS Y PULIDAS DE SILICIO SE OBTIENE MEDIANTE LA DISMINUCION DEL TIEMPO CONSUMIDO EN ALISAR LA RODAJA DELGADA Y PULIDA. DESPUES DE UNA OPERACION CONVENCIONAL DE SOLAPAMIENTO, LA RODAJA DELGADA Y PULIDA SE REVISTE CON UN REVESTIMIENTO RESISTENTE A LA CORROSION, TIPICAMENTE NITRURO DE SILICIO. UNA FASE DE ALISAMIENTO ELIMINA EL REVESTIMIENTO DE NITRURO SOBRE LAS SUPERFICIES PLANAS DE LA RODAJA DELGADA Y PULIDA, PERO DEJA UN REVESTIMIENTO DE NITRURO SOBRE LOS LATERALES DE HOYOS QUE SE FORMAN EN LA OPERACION DE SOLAPAMIENTO. LA RODAJA DELGADA Y PULIDA SE TRATA DESPUES AL AGUA FUERTE, TIPICAMENTE EN KOH, PARA ELIMINAR LA SUPERFICIE DE SILICIO HASTA DEBAJO DE LA PROFUNDIDAD DE LOS HOYOS. EL CORTE POCO PROFUNDO O REBAJO DEL REVESTIMIENTO DE NITRURO ELIMINA LOS HOYOS, O DEJA PROTUSIONES RELATIVAMENTE PEQUEÑAS EN SU LUGAR. LAS PROTUSIONES PUEDEN ELIMINARSE MEDIANTE UNA OPERACION BREVE DE ALISAMIENTO. TAMBIEN SON POSIBLES OTROS TIPOS DE RODAJAS DELGADAS Y PULIDAS Y MATERIALES RESISTENTES A LA CORROSION. CIRCUITOS INTEGRADOS SE FORMAN TIPICAMENTE SOBRE LAS RODAJAS DELGADAS Y PULIDAS MEDIANTE TECNICAS LITOGRAFICAS QUE, VENTAJOSAMENTE, UTILIZAN LA LISURA PERFECCIONADA.
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