发明名称 CALENTAMIENTO DE SUBSTRATOS CON DESCARGA DE ARCO DE BAJA TENSION Y CAMPO MAGNETICO VARIABLE.
摘要 PARA CALENTAR UN SUSTRATO DE CALOR (3) RESP. UNIFORMEMENTE DE UN SUSTRATO RECUBIERTO EN UNA CAMARA DE VACIO (1) EN UN RECIPIENTE MEDIANTE DESCARGA ELECTRICA RESP. DE ALTO VACIO O DESCARGA POR ARCO DE BAJA TENSION, SE PROPONE QUE EN LA CAMARA DE VACIO, RESP. EN EL RECIPIENTE SE MANTENGA AL MENOS DURANTE EL CALENTAMIENTO UN CAMPO MAGNETICO LOCAL VARIABLE Y/O DESPLAZABLE. PREFERENTEMENTE SE MANTIENEN AL MENOS EN PARTE, DOS CAMPOS MAGNETICOS SOLAPADOS, QUE ALTERNANDO, SON ACTIVADOS DE FORMA FUERTE O DEBIL, PARA DE ESTA FORMA QUE LA DENSIDAD DE CORRIENTE EN LA CAMARA DE VACIO RESP. EN EL RECIPIENTE SEA LOCALMENTE AFECTADA, Y POR ELLO, A LO LARGO DEL SUSTRATO, SE PRODUCE EN LA CARGA DE CALOR DE FORMA ALTERNANDO UN CALENTAMIENTO FUERTE O DEBIL.
申请公布号 ES2056552(T3) 申请公布日期 1994.10.01
申请号 ES19910117606T 申请日期 1991.10.16
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 KAUFMANN, HELMUT, DR.;SCHMID, ROLAND, DR.
分类号 C23C14/30;C23C14/54;H01J37/32;H05B7/00;H05B7/18;(IPC1-7):C23C14/30;H01J37/305 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
地址