发明名称 |
CALENTAMIENTO DE SUBSTRATOS CON DESCARGA DE ARCO DE BAJA TENSION Y CAMPO MAGNETICO VARIABLE. |
摘要 |
PARA CALENTAR UN SUSTRATO DE CALOR (3) RESP. UNIFORMEMENTE DE UN SUSTRATO RECUBIERTO EN UNA CAMARA DE VACIO (1) EN UN RECIPIENTE MEDIANTE DESCARGA ELECTRICA RESP. DE ALTO VACIO O DESCARGA POR ARCO DE BAJA TENSION, SE PROPONE QUE EN LA CAMARA DE VACIO, RESP. EN EL RECIPIENTE SE MANTENGA AL MENOS DURANTE EL CALENTAMIENTO UN CAMPO MAGNETICO LOCAL VARIABLE Y/O DESPLAZABLE. PREFERENTEMENTE SE MANTIENEN AL MENOS EN PARTE, DOS CAMPOS MAGNETICOS SOLAPADOS, QUE ALTERNANDO, SON ACTIVADOS DE FORMA FUERTE O DEBIL, PARA DE ESTA FORMA QUE LA DENSIDAD DE CORRIENTE EN LA CAMARA DE VACIO RESP. EN EL RECIPIENTE SEA LOCALMENTE AFECTADA, Y POR ELLO, A LO LARGO DEL SUSTRATO, SE PRODUCE EN LA CARGA DE CALOR DE FORMA ALTERNANDO UN CALENTAMIENTO FUERTE O DEBIL.
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申请公布号 |
ES2056552(T3) |
申请公布日期 |
1994.10.01 |
申请号 |
ES19910117606T |
申请日期 |
1991.10.16 |
申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KAUFMANN, HELMUT, DR.;SCHMID, ROLAND, DR. |
分类号 |
C23C14/30;C23C14/54;H01J37/32;H05B7/00;H05B7/18;(IPC1-7):C23C14/30;H01J37/305 |
主分类号 |
C23C14/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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