| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR METAL THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275722(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930060243 |
申请日期 |
1993.03.19 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
KATAGIRI TOMOHARU;KONDO HIDEKAZU;YAMAMOTO HIROSHI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
C23C16/12;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 |
主分类号 |
C23C16/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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