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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06275604(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930060315 申请日期 1993.03.19
申请人 HITACHI LTD;HITACHI HARAMACHI SEMICONDUCTOR LTD 发明人 KIKUCHI MASAHIRO;KURITA SHINICHI;SHIMURA TATSUO;TAKITA JUNICHI;SHINNO YUJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/314;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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