| 发明名称 |
WASHING OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275591(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930060329 |
申请日期 |
1993.03.19 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
HAMANAKA MASASHI;DOMAE SHINICHI |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/66;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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