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经营范围
发明名称
PERIPHERY EXPOSURE DEVICE OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH06275517(A)
申请公布日期
1994.09.30
申请号
JP19930060420
申请日期
1993.03.19
申请人
NIKON CORP
发明人
NAKAJIMA MASAO;NAITO MASAKI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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