发明名称 PERIPHERY EXPOSURE DEVICE OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06275517(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930060420 申请日期 1993.03.19
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKAJIMA MASAO;NAITO MASAKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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