PLASMA TREATING DEVICE,申请号JP19930065609-传众专利搜索

发明名称	PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06275562(A)	申请公布日期	1994.09.30
申请号	JP19930065609	申请日期	1993.03.24
申请人	TOSHIBA EMI LTD	发明人	KAKINUMA KEIJI
分类号	H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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