发明名称 DISK HOLDING APPARATUS FOR LASER SURFACE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06273143(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930086769 申请日期 1993.03.22
申请人 SPEEDFAM CO LTD 发明人 ARAI HATSUYUKI
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/95;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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