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发明名称
HEAT REATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06275603(A)
申请公布日期
1994.09.30
申请号
JP19930087828
申请日期
1993.03.24
申请人
SONY CORP
发明人
ANZAI HISAHIRO
分类号
H01L21/31;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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