| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275600(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930064343 |
申请日期 |
1993.03.23 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
SEKIGUCHI ATSUSHI;TOBE AKIMI |
| 分类号 |
C04B41/87;C23C16/50;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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