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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06275535(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930061654 申请日期 1993.03.22
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 OZAWA SHINICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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