发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06275576(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930061658 申请日期 1993.03.22
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 FUJIMOTO TAKATOSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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