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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH06275632(A)
申请公布日期
1994.09.30
申请号
JP19930060370
申请日期
1993.03.19
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
IKEGAMI MASAAKI
分类号
H01L21/28;H01L21/331;H01L29/10;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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