发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06275632(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930060370 申请日期 1993.03.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IKEGAMI MASAAKI
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L29/10;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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