RESIN MATERIAL,申请号JP19930115308-传众专利搜索

发明名称	RESIN MATERIAL
摘要
申请公布号	JPH06273935(A)	申请公布日期	1994.09.30
申请号	JP19930115308	申请日期	1993.04.19
申请人	SHIN ETSU CHEM CO LTD	发明人	TAKEDA YOSHIFUMI;ISHIHARA TOSHINOBU;MARUYAMA KAZUMASA;ITO KENICHI
分类号	G03F7/004;G03F7/029;G03F7/033;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
主权项
地址