| 发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING MATRIX SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275834(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930063666 |
申请日期 |
1993.03.23 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAWASAKI KIYOHIRO |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G02F1/1345;H01L21/66;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784;G02F1/134 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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