| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275606(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930059044 |
申请日期 |
1993.03.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
KATAOKA RYOICHI;INOUE FUMIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/316;H01L21/324;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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