| 发明名称 |
SUBSTRATE TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275585(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930058152 |
申请日期 |
1993.03.18 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
NIIHARA KAORU;KURATA YASUHIRO;SAWAMURA MASASHI |
| 分类号 |
B08B3/02;B25J17/02;G02F1/13;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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