| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR CLEANING PLASMA TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275578(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930058726 |
申请日期 |
1993.03.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NABESHIMA TAMOTSU;YOKOTA KAZUO;TAMAOKI NORIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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