| 发明名称 |
FORMATION OF AMORPHOUS SILICON ALLOY FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06275538(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930063761 |
申请日期 |
1993.03.23 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
TARUI HISAKI;NINOMIYA KUNIMOTO |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
