发明名称 MANUFACTURING METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06275529(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930061610 申请日期 1993.03.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 MITANI KATSUHIKO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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