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发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06275570(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930060272 申请日期 1993.03.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO KATSUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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