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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06275568(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930060755 申请日期 1993.03.19
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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