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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06275636(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930065285 申请日期 1993.03.24
申请人 SHARP CORP 发明人 KANEKO SEIJI;BABA TOMOYA
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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