| 发明名称 |
SURFACE ACOUSTIC WAVE ELEMENT AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06276049(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930085707 |
申请日期 |
1993.03.19 |
| 申请人 |
TDK CORP |
发明人 |
YOKOTA HIDEAKI;MOROOKA HISAO;SATO KATSUO;NAGANO KATSUTO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;H03H3/08;H03H9/25;(IPC1-7):H03H9/25 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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