METHOD AND EQUIPMENT FOR INSPECTING DEFECT,申请号JP19930065077-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND EQUIPMENT FOR INSPECTING DEFECT
摘要
申请公布号	JPH06273344(A)	申请公布日期	1994.09.30
申请号	JP19930065077	申请日期	1993.03.24
申请人	NIKON CORP	发明人	HAYANO FUMITOMO
分类号	G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01B11/30
代理机构		代理人
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