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发明名称 OPTICAL SENSOR FOR MEASUREMENT OF DIMENSION AND METHOD FOR MEASURING AND CONTROLLING DIMENSION USING THE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH06273119(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930082495 申请日期 1993.03.18
申请人 NANBU KASEI KK 发明人 AONO MASA
分类号 G01B11/02;G02B6/00;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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