发明名称 SEMICONDUCTOR CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06275805(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930086744 申请日期 1993.03.22
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 TAKAYAMA TORU;TAKEMURA YASUHIKO
分类号 H01L21/8238;H01L21/20;H01L21/336;H01L27/092;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/146;H01L29/784 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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