发明名称 SUBSTRATE CONVEYOR
摘要
申请公布号 JPH06275702(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930085640 申请日期 1993.03.18
申请人 SONY CORP 发明人 HATA YOSHINORI;SHIROSAKI TOMOHIDE;KIZAKIHARA TOSHIROU
分类号 B08B6/00;B25J19/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B08B6/00
代理机构 代理人
主权项
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