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发明名称 MANUFACTURE OF STORAGE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06275845(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930059806 申请日期 1993.03.19
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 HAYASAKA HIROSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/318;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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