| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275758(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930060270 |
申请日期 |
1993.03.19 |
| 申请人 |
CHICHIBU FUJI:KK |
发明人 |
TAKAHASHI YUKIO;KAWASE ZENJIRO;IMAI KOJI;DEURA YASUO |
| 分类号 |
B24C1/00;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 |
主分类号 |
B24C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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