| 发明名称 |
FORMING METHOD OF CONDUCTING LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275624(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930060358 |
申请日期 |
1993.03.19 |
| 申请人 |
MIYAGI OKI DENKI KK;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ITOU YOSHINORI;UMEMURA EIICHI;HARADA YUSUKE |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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