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发明名称
Vorrichtung zur lateral aufgelösten Untersuchung einer lateral heterogenen ultradünnen Objektschicht
摘要
申请公布号
DE4310025(A1)
申请公布日期
1994.09.29
申请号
DE19934310025
申请日期
1993.03.27
申请人
BOEHRINGER MANNHEIM GMBH, 68305 MANNHEIM, DE
发明人
NKOLL, WOLFGANG, PROF. DR., 6500 MAINZ, DE
分类号
G01B11/06;G01N21/41;G01N21/84;G02B6/122;(IPC1-7):G01B11/06;G02B6/12
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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