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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung.
摘要
申请公布号 DE3888457(T2) 申请公布日期 1994.09.29
申请号 DE19883888457T 申请日期 1988.11.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 FURUTA, TAKASHI, TAKATSUKI-SHI OSAKA, JP;NISHIDA, SHUICHI, NIONOHAMA OTSU-SHI SHIGA, JP
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/08;H01L29/41;(IPC1-7):H01L29/08;H01L21/60 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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