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发明名称
Halbleitervorrichtung mit einem piezoresistiven Drucksensor
摘要
申请公布号
DE4309207(A1)
申请公布日期
1994.09.29
申请号
DE19934309207
申请日期
1993.03.22
申请人
TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH, 85356 FREISING, DE
发明人
HARTAUER, SIEGBERT, 8300 LANDSHUT, DE
分类号
G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06;H01L27/20;H01L21/72
主分类号
G01L9/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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