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发明名称 FINE PATTERN FORMING MATERIAL AND PATTERN FORMATION PROCESS
摘要
申请公布号 EP0588544(A3) 申请公布日期 1994.09.28
申请号 EP19930307020 申请日期 1993.09.06
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES LTD;MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD;WAKO PURE CHEM IND LTD;MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 URANO, FUMIYOSHI;NEGISHI, TAKAAKI;ENDO, MASAYUKI;HASHIMOTO, KAZUHIKO;KATSUYAMA, AKIKO
分类号 C08F212/14;G03F7/004;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 C08F212/14
代理机构 代理人
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