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发明名称 Negative photoresist and use thereof.
摘要
申请公布号 EP0393348(B1) 申请公布日期 1994.09.28
申请号 EP19900104693 申请日期 1990.03.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HATZAKIS, MICHAEL;SHAW, JANE MARGARET;STEWART, KEVIN JAY
分类号 G03F7/038;C08G59/00;C08G59/14;C08G59/18;G03F7/004;G03F7/029;G03F7/075;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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