| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06272037(A) |
申请公布日期 |
1994.09.27 |
| 申请号 |
JP19910150326 |
申请日期 |
1991.06.21 |
| 申请人 |
TONEN CORP |
发明人 |
KAWAGISHI KENJI;ARAI YOSHIHIRO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36;(IPC1-7):C23C14/36 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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