| 发明名称 |
PLASMA PRODUCING DEVICE AND ION PLATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06272029(A) |
申请公布日期 |
1994.09.27 |
| 申请号 |
JP19930059240 |
申请日期 |
1993.03.19 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
SASAGAWA KOICHI;KAWAMATA KATSUHIDE;OOYAMAGUCHI MAKIKO |
| 分类号 |
C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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