| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING POLYCRYSTALLINE THIN FILM AND PRODUCTION OF OXIDE SUPERCONDUCTOR HAVING POLYCRYSTALLINE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06271400(A) |
申请公布日期 |
1994.09.27 |
| 申请号 |
JP19930060187 |
申请日期 |
1993.03.19 |
| 申请人 |
CHODENDO HATSUDEN KANREN KIKI ZAIRYO GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
IIJIMA YASUHIRO;TANABE NOBUO;ONABE KAZUNORI;FUTAKI NAOHIRO;SADAKATA NOBUYUKI |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C23C14/22;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C30B29/22 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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