| 发明名称 |
ANNEALING HEAT TREATMENT METHOD OF AL SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06271999(A) |
申请公布日期 |
1994.09.27 |
| 申请号 |
JP19930084170 |
申请日期 |
1993.03.18 |
| 申请人 |
SPEEDFAM CO LTD |
发明人 |
IKEMOTO KIYOSHI;KIRYU KOJI;SEKI YOSHINORI |
| 分类号 |
C22F1/04;C22F1/00;(IPC1-7):C22F1/04 |
主分类号 |
C22F1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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