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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR940008729(B1) 申请公布日期 1994.09.26
申请号 KR19910010434 申请日期 1991.06.24
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 NOJI, HIROYUKI;KISHI, KOICHI;KOYAMA, YUSUKE;SUGIURA, SOICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784;H01L27/04 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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