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发明名称
PROTECTION OF INSULATING FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF CAPACITIVE ELEMENT
摘要
申请公布号
JPH06268155(A)
申请公布日期
1994.09.22
申请号
JP19930054104
申请日期
1993.03.15
申请人
SONY CORP
发明人
ARAKI SHINICHI
分类号
H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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