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发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06267477(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930053570 申请日期 1993.03.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO MITSUGI
分类号 H01J37/147;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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