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发明名称 MICROWAVE PLASMA TREATER
摘要
申请公布号 JPH06267910(A) 申请公布日期 1994.09.22
申请号 JP19930056809 申请日期 1993.03.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUBAKI TAKESHI;WATANABE KATSUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01P7/06;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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