OPTISCHES CVD-VERFAHREN.,申请号DE19873750091T-传众专利搜索

发明名称	OPTISCHES CVD-VERFAHREN.
摘要
申请公布号	DE3750091(T2)	申请公布日期	1994.09.22
申请号	DE19873750091T	申请日期	1987.12.25
申请人	KAWASAKI STEEL CORP., KOBE, HYOGO, JP	发明人	OHTA, TOMOHIRO, 1, KAWASAKI-CHO CHIBA-SHI CHIBA 260, JP;SASAKI, HIROAKI, 1, KAWASAKI-CHO CHIBA-SHI CHIBA 260, JP;MITOMO, TOHRU, 1, KAWASAKI-CHO CHIBA-SHI CHIBA 260, JP;KUBOTA, NAOKI, 1, KAWASAKI-CHO CHIBA-SHI CHIBA 260, JP
分类号	C23C16/48;H01L21/268;(IPC1-7):C23C16/48	主分类号	C23C16/48
代理机构		代理人
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