| 发明名称 |
ION BEAM SPUTTERING DEVICE AND THIN-FILM PREPARATION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06267489(A) |
申请公布日期 |
1994.09.22 |
| 申请号 |
JP19930050752 |
申请日期 |
1993.03.11 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
OTSU MASAHITO;NISHIDA HIROSHI;ONISHI YOSHIHIKO;HIRATA MAMORU;HIRANO TAKAYUKI |
| 分类号 |
C23C14/46;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
C23C14/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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